Système de film mince multicouche avancé de 12 pouces
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Attributs
220 VTension
10 kWPuissance (W)
PLC, Moteur, Roulement, Boîte de vitessesComposants essentiels
FourniRapport dessai de machines
1 ANGarantie commerciale
FourniInspection vidéo au départ
Lieu dorigine:Guangdong, China
Poids (kg):100
Nom de marque:BW
Système de vide:Pompe moléculaire (pompe cryogénique) + pompe d'appui
Limite de vide:Mieux que 3,0*10^-5 Pa
Vitesse de pompage:Pompage jusqu'à 5,0*10^-4 Pa ≤ 30 min
Taille de la plateforme de substrat:≥160*160 mm
Structure du substrat:Structure de type tiroir, rotative pour le masquage
Température du substrat:Température ambiante, chauffé, refroidi à l'eau
Source de faisceau d'électrons:Creuset à 4 à 6 cavités
Surveillance de l'épaisseur du film:Moniteur d'oscillateur à cristal, précision 0,1 K/s
Caractéristiques du produit
Tension
220 V
Puissance (W)
10 kW
Composants essentiels
PLC, Moteur, Roulement, Boîte de vitesses
Rapport dessai de machines
Fourni
Garantie commerciale
1 AN
Inspection vidéo au départ
Fourni
Lieu dorigine
Guangdong, China
Poids (kg)
100
Nom de marque
BW
Système de vide
Pompe moléculaire (pompe cryogénique) + pompe d'appui
Limite de vide
Mieux que 3,0*10^-5 Pa
Vitesse de pompage
Pompage jusqu'à 5,0*10^-4 Pa ≤ 30 min
Taille de la plateforme de substrat
≥160*160 mm
Structure du substrat
Structure de type tiroir, rotative pour le masquage
Température du substrat
Température ambiante, chauffé, refroidi à l'eau
Source de faisceau d'électrons
Creuset à 4 à 6 cavités
Surveillance de l'épaisseur du film
Moniteur d'oscillateur à cristal, précision 0,1 K/s
Emballage et livraison
vente Unités
Article unique
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