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Alternative au sputtering en ligne : Springon ™ Système de pulvérisation rotative | 90 % de capacité en seulement 1/6 de surface | Substrat 600x600mm

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MEGA ENERGY VACUUM CO., LTD.
TW1 an sur Alibaba.com
Taux de livraison dans les délais ≥ 100%

Attributs

Métallisation sous videRevêtement
Chaîne de Production de RevêtementType
380V AC 3 PHASE+GNDTension électrique
SPRINGON XL420Type de machine
1 ANGarantie commerciale
120KWPuissance (W)
Point d'origine:TAIWAN
Poids (kg):7800
Nom de marque:MEGAENERGY
Dimensions (L*l*H):5m x 3.5m x 1.4m
substrate Size:660*600mm
Process chamber:3
Sputtering Power:20kW
Uniformity(%):+-5%~15%(depend on substrate size)
Sputtering rate(Y2O3):Max 3.5nm/s
Ultimate vacuum:<8e-6mbar
Target utilization/lifetime:>30%/350 cycles

Caractéristiques du produit

Revêtement
Métallisation sous vide
Type
Chaîne de Production de Revêtement
Tension électrique
380V AC 3 PHASE+GND
Type de machine
SPRINGON XL420
Garantie commerciale
1 AN
Dimensions (L*l*H)
5m x 3.5m x 1.4m(16.40ftx11.48ftx4.59ft)
Nom de marque
MEGAENERGY
Poids (kg)
7800
Point d'origine
Other
Puissance (W)
120KW(160.92hp)
substrate Size
660*600mm
Process chamber
3
Sputtering Power
20kW
Uniformity(%)
+-5%~15%(depend on substrate size)
Sputtering rate(Y2O3)
Max 3.5nm/s
Ultimate vacuum
<8e-6mbar
Target utilization/lifetime
>30%/350 cycles

Emballage et livraison

vente Unités
Article unique

Délai de préparation de la commande

Description des produits par le fournisseur

Quantité minimale : 1 jeu
692 860-1 299 112,50 €

Numéro de modèle

XL420

Expédition

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