MEGA ENERGY VACUUM CO., LTD.

TW1 an

≥100%

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Système de pulvérisation rotative Springon en ligne alternatif | 90 % de capacité, 1/6 de surface | Substrat 660x600mm | 20 kW |

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694 799,20-1 302 748,50 €

Quantité minimale : 1 jeu

Numéro de modèle

XL420

Caractéristiques

Tension électrique

380V AC 3 PHASE+GND

Type de machine

SPRINGON XL420

Revêtement

Métallisation sous vide

Garantie commerciale

1 AN

Type

Chaîne de Production de Revêtement

Dimensions (L*l*H)

5m x 3.5m x 1.4m

Expédition

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Caractéristiques du produit

Tension électrique

380V AC 3 PHASE+GND

Type de machine

SPRINGON XL420

Revêtement

Métallisation sous vide

Garantie commerciale

1 AN

Type

Chaîne de Production de Revêtement

Puissance (W)

120KW

Point d'origine

TAIWAN

Poids (kg)

7800

Nom de marque

MEGAENERGY

Dimensions (L*l*H)

5m x 3.5m x 1.4m

substrate Size

660*600mm

Process chamber

3

Sputtering Power

20kW

Uniformity(%)

+-5%~15%(depend on substrate size)

Sputtering rate(Y2O3)

Max 3.5nm/s

Ultimate vacuum

<8e-6mbar

Target utilization/lifetime

>30%/350 cycles

Emballage et livraison

vente Unités

Article unique

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