Type
Vertical
Précision de positionnement
± 0,004
Répétabilité (x/y/z) (mm)
± 0.004
Course de la table (x) (mm)
650, 1100, 1500, 800
course de la table (y) (mm)
400, 550, 600, 800
course de la table (z) (mm)
500, 550, 600, 700