Type
Horizontal
Précision de positionnement
± 0.003
Répétabilité (x/y/z) (mm)
± 0.002
Course de la table (x) (mm)
3000, 5000, 4000
course de la table (y) (mm)
2500, 2200, 2000
course de la table (z) (mm)
1000, 900