Étcheur à ions réactifs de haute précision (RIE) pour l'usinage de matériaux semi-conducteurs en silicium et en SiO2
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Attributs
SiO2 Si3N4,SiC,GaN,GaAs,ITO,AZO, etc.Substrat
E-revêtementRevêtement
Reactive Ion Etching MachineType
380V, 110V, 220 VTension électrique
1 ANGarantie commerciale
FourniRapport dessai de machines
Puissance (W):/
Point d'origine:Shandong, China
Poids (kg):700
Inspection vidéo au départ:Fourni
Nom de marque:AME
Product name:Lab/ Industry Semiconductor Material Etching Machine
Etching rate:0.1-4 μ m/min (depending on specific materials and processes
Sample size:6 inches in diameter
Workbench:Liftable (0-60mm) with an adjustment precision of 1mm
Uneven etching:± 5%
Standard sample cooling method:water cooling
Power configuration:Upper electrode RF, lower electrode bias, including automatic matching
Operation mode:Fully automatic, semi-automatic
Vacuum acquisition:Corrosion-resistant turbomolecular pump system
Service
Pièces de rechange gratuites et assistance technique en ligne
Caractéristiques du produit
Substrat
SiO2 Si3N4,SiC,GaN,GaAs,ITO,AZO, etc.
Revêtement
E-revêtement
Type
Reactive Ion Etching Machine
Tension électrique
380V, 110V, 220 V
Garantie commerciale
1 AN
Rapport dessai de machines
Fourni
Inspection vidéo au départ
Fourni
Puissance (W)
/
Point d'origine
Shandong, China
Poids (kg)
700
Nom de marque
AME
Product name
Lab/ Industry Semiconductor Material Etching Machine
Etching rate
0.1-4 μ m/min (depending on specific materials and processes
Sample size
6 inches in diameter
Workbench
Liftable (0-60mm) with an adjustment precision of 1mm
Uneven etching
± 5%
Standard sample cooling method
water cooling
Power configuration
Upper electrode RF, lower electrode bias, including automatic matching
Operation mode
Fully automatic, semi-automatic
Vacuum acquisition
Corrosion-resistant turbomolecular pump system
Emballage et livraison
vente Unités
Article unique
Délai de préparation de la commande
Description des produits par le fournisseur
Quantité minimale : 1 jeu
171 779,95 €
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AME-RIE-8100/ AME-RIE-8101
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