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Système PECVD de couche diélectrique pour plaquettes IC

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1 - 2 jeu
86 819,60 €
≥ 3 jeu
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Numéro de modèle

BW

Caractéristiques

Tension

220 V

Puissance (W)

10 kW

Composants essentiels

PLC, Moteur, Roulement, Boîte de vitesses

Garantie commerciale

1 AN

Rapport dessai de machines

Fourni

Inspection vidéo au départ

Fourni

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Caractéristiques du produit

Tension
220 V
Puissance (W)
10 kW
Composants essentiels
PLC, Moteur, Roulement, Boîte de vitesses
Rapport dessai de machines
Fourni
Garantie commerciale
1 AN
Inspection vidéo au départ
Fourni
Lieu dorigine
Guangdong, China
Poids (kg)
100
Nom de marque
BW
Système de vide
Pompe moléculaire (pompe cryogénique) + pompe d'appui
Limite de vide
Mieux que 3,0*10^-5 Pa
Vitesse de pompage
Pompage jusqu'à 5,0*10^-4 Pa ≤ 30 min
Taille de la plateforme de substrat
≥160*160 mm
Structure du substrat
Structure de type tiroir, rotative pour le masquage
Température du substrat
Température ambiante, chauffé, refroidi à l'eau
Source de faisceau d'électrons
Creuset à 4 à 6 cavités
Surveillance de l'épaisseur du film
Moniteur d'oscillateur à cristal, précision 0,1 K/s

Emballage et livraison

vente Unités
Article unique

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Description des produits par le fournisseur

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