Système de décapage au plasma oxygéné pour le processus de fabrication de plaquettes de silicium
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Attributs
380VTension
5KWPuissance (W)
PLC, Moteur, Roulement, Boîte de vitessesComposants essentiels
FourniRapport dessai de machines
1 ANGarantie commerciale
FourniInspection vidéo au départ
Lieu dorigine:Guangdong, China
Poids (kg):100
Nom de marque:BW
Source de plasma:Source plasma à couplage inductif RF ou source plasma à double fréquence
Transfert mécanique:Bras robotique de haute précision à un ou deux bras
Pompe à vide:Pompe à vide sèche
Contrôle de la pression de procédé:Vanne papillon à régulation automatique de pression
Contrôle du débit de gaz:Contrôleur de débit massique (MFC)
Caractéristiques du produit
Tension
380V
Puissance (W)
5KW
Composants essentiels
PLC, Moteur, Roulement, Boîte de vitesses
Rapport dessai de machines
Fourni
Garantie commerciale
1 AN
Inspection vidéo au départ
Fourni
Lieu dorigine
Guangdong, China
Poids (kg)
100
Nom de marque
BW
Source de plasma
Source plasma à couplage inductif RF ou source plasma à double fréquence
Transfert mécanique
Bras robotique de haute précision à un ou deux bras
Pompe à vide
Pompe à vide sèche
Contrôle de la pression de procédé
Vanne papillon à régulation automatique de pression
Contrôle du débit de gaz
Contrôleur de débit massique (MFC)
Emballage et livraison
vente Unités
Article unique
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